靈活而緊湊的基于激光的測量系統，可以高速測量表面和檢查關鍵尺寸。

談到計量和檢測，很少有設備有現代激光系統那樣的萬能件。快速、非接觸式的激光技術可以在零件上測量許多點而不產生變形或留下痕跡。

AutomatedPrecisionInc.（API）出品的5或6維激光系統，顯示出由激光測量系統可以達到的獨特性能的種類。由該公司設計的系統，是以一個精密干涉儀的5或6維傳感器為基礎用來測量CNC機床和坐標測量機的定位精度。干涉儀發送的激光光束進入傳感器，然后分為三個分光束。第一個分光束將返回光源，以進行線性位移測量，第二個分光束進入雙向傳感器以測量水平和垂直方向的不直度誤差。第三個分光束通過一個光學結構，測量偏轉和仰俯。由一個集成的微分激光系統來測量轉動角偏差。

用戶可以在機床的一個坐標軸上（如X軸）安裝6維激光器，可同時測量所有的六個坐標軸的誤差。

API的MikeGlossinger說，“如果您是在普通機床上測量，則Y軸應該與X軸成90°。將激光器定位好，如定位在X軸上，插入一個五棱鏡，讓光束折彎至Y軸上，折彎度正好為90度。”激光器保持靜止，只有6維傳感器移動對Y軸進行測量。利用從X和Y軸上取得的不直度數據，測量器上的專利軟件可以確定每個坐標軸在測試平面中的走向并計算其垂直度。

三軸機床上的每個軸都有6個可能的位置誤差：軸移動定位誤差；在垂直于移動軸的軸方向上的直線度誤差和三個角度誤差（轉動、俯仰、偏轉）。此外，機床三個相互垂直的平面生成的正方度誤差。
通過三次安裝和三次測量操作，系統可以確定機床上17個軸誤差和兩個正方度誤差。API現有的轉動傳感器不能測量垂直軸的轉動。在5次安裝和操作中，系統可以確定21個可能誤差中的20個。

Glossinger說，“我們可以在約4-5小時內對一臺機床進行完整的分析。”他相信，由像API的5或6維系統收集的數據，為機床制造廠提供達到新的精度水準的機會。“最終，機床制造廠在補償方面要做的事情將比只在純直線度方面要做的事情要多。在當今，他們試圖用很好的機械方法制造系統，但是留給他們的恰好是無法修正的小誤差。現在，通過某些補償，我們可以把機床做得更好（更確切地說是性能價格比）。”
在更一般的場合，由Mitutoyo（MIT）Corp.出品的激光千分尺在連續過程中證實了激光的測量方法的速度和精度。這些系統將激光光束對準一個旋轉的反射鏡。當反射鏡自轉時，激光束射向一個光電單元。該單元的輸出量隨達到其上的光束量大小成正比地發生變化，使系統可以確定位于單元和激光之間的工件的直徑。常用的MTI激光千分尺如Series544，對于直徑為1mm~51mm的工件，其精度約為±0.0030mm，重復精度約為±0.00013mm。

MTI的DaleSchauer說，“一些制造廠采用He—Ne管作為激光光源，但我們卻采用二極管，因為其使用壽命更長。有些He—Ne管其使用壽命超過600h，但采用激光二極管，有時候，其壽命竟超出7000h。”激光千分尺往往作為較大型系統的一個組成部分加以使用。Schauer觀察到，“有一半以上激光器是深藏在某些講師儀器的過程控制部分中。”當今的激光千分尺還具備增強的功能度。“與舊裝置相比，它們具備更多的編程控制能力以及更快的輸出能力。”

在線測量時，用戶仍然要注意零件的清潔度和粗糙度。Schauer警告說：“一層油或水基冷卻液的薄膜其厚度可能達十分之幾毫米。此外，您還要受到表面粗糙度的某種影響。這些裝置中某些分辨力只有0.5μm。此外，零件的找正很關鍵。任何微量傾斜都將引起錯誤的讀數。任何粘在零件上的東西均可能影響測量結果。”

他不同意激光的測量比機械式或機電式測量要貴的觀點。“如果說到用機械系統測量撥絲模之間的絲流，則必須制造某各軋輥系統，而這種系統并不便宜。對于激光系統，如果產品是圓的，您可能采用一個X—Y調整。每個送